一种用于盘、饼状工件外缘金刚石涂层的装置及方法.pdfVIP

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2023-04-26 发布于北京
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一种用于盘、饼状工件外缘金刚石涂层的装置及方法.pdf

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本发明公开了一种用于盘、饼状工件外缘金刚石涂层的装置及方法，通过设置冷却装夹轴，并控制冷媒在冷却装夹轴内的流量、压力等因素，以影响金刚石涂层过程中金刚石生长的温度梯度，从而让金刚石有效的生长；通过设置动力系统，并与热丝、冷却装夹轴配合，可以让工件旋转运动，从而解决涂层不均匀迹象；可以根据盘、饼类薄形工件形状、大小的不同，设置不同热丝，以及进行热丝的不同布设位置和方式，可以提高沉积效率。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114086150 A (43)申请公布日 2022.02.25 (21)申请号 202111356085.3 C23C 16/52 (2006.01) (22)申请日 2