包括集成片上光波导的光热气体检测器.pdfVIP

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2023-04-26 发布于北京
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包括集成片上光波导的光热气体检测器.pdf

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一种装置包括集成波导结构和第一光源，该第一光源能够操作以产生具有第一波长的探测束，其中该探测束耦合到波导结构的第一端。第二光源能够操作以产生具有第二波长的激发束，以激发紧靠探测束路径的气体分子。光检测器耦合到集成波导结构的第二端，并且能够操作用于在探测束穿过波导结构之后检测探测束。该装置是能够操作的，使得气体分子的激发导致气体分子的温度升高，这引起可由光检测器测量的探测束的变化。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114096829 A (43)申请公布日 2022.02.25 (21)申请号 202080047105.6 (74)专利代理机构北京市柳沈律师事务所