用于移除边缘保护层及残余金属硬掩模组分的冲洗剂及其使用方法.pdfVIP

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2023-04-26 发布于北京
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用于移除边缘保护层及残余金属硬掩模组分的冲洗剂及其使用方法.pdf

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本发明涉及一种用于从晶圆/基板的边缘及至少一个近表面移除边缘保护层及残余硬掩模组分(例如，金属)的冲洗剂及其使用方法，其中该冲洗剂包括(i)乙酸及/或结构(A)的卤化乙酸：其中R1及R2独立地为氢或卤素且R3为卤素，及(ii)具有结构(B)的化合物：其中Ra、Rb、Rc、Rd、Re、Rf、Rg及Rh中的每一者可独立地为氢、经取代或未经取代的烷基、经取代或未经取代的卤化烷基、经取代或未经取代的烷基羰基、卤素及羟基。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114080570 A (43)申请公布日 2022.02.22 (21)申请号 202080049603.4 (74)专利代理机构中国贸促会专利商标事务所