3DMEMS探针清洗烘干装置、方法及其关键结构.pdfVIP

下载本文档

2
0
约1.61万字
约 21页
2023-04-26 发布于北京
举报
版权申诉

3DMEMS探针清洗烘干装置、方法及其关键结构.pdf

1、本文档共21页，其中可免费阅读20页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明3DMEMS探针清洗烘干装置、方法及其关键结构属于半导体加工测试技术领域；该装置包括底座、上压板组件、右底板、第一上固定板、第一下固定板、第一上压紧板、第一下移动板、第一导向杆、第一调节螺栓、下压板组件、左底板、第二上固定板、第二下固定板、第二上压紧板、第二下移动板、第二导向杆、第二调节螺栓、卡扣、喷嘴组件、压缩空气进口、清洗液进口、高温氮气进口、合页和3DMEMS探针；本申请设置有便于安装的底座，在清洗时能够通过下移动板和上压紧板实现纱网绷紧，能够方便探针的放置，并能够提高探针的清洗效果

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114082698 A (43)申请公布日 2022.02.25 (21)申请号 202111422496.8 (22)申请日 2021.11.26 (71)申请人强一半导体（上海）有限公司