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2023-04-26 发布于北京
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光波导器件。一种光波导器件，该光波导器件包括：中间层、包括X‑切割铌酸锂的薄膜LN层和缓冲层，该中间层、包括X‑切割铌酸锂的该薄膜LN层和该缓冲层层叠在基板上；光波导，该光波导形成在所述薄膜LN层中；以及电极，该电极用于驱动。所述中间层由上部的第一中间层和下部的第二中间层形成，所述第二中间层的介电常数小于所述第一中间层的介电常数。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114077009 A (43)申请公布日 2022.02.22 (21)申请号 202110677479.2 (22)申请日 2021.06.18 (30)优先权数据