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2023-04-26 发布于北京
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反熔丝结构.pdf

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反熔丝结构包括主动区、栅极电极及介电层。栅极电极位于主动区上方，其中栅极电极呈环状，并且栅极电极的一部分在垂直投影方向上与主动区的一部分重叠，且主动区的该部分的掺质浓度高于主动区的另一部分的掺质浓度。介电层夹设在主动区的该部分与栅极电极的该部分之间。由于栅极电极呈环状，并且与栅极电极的该部分重叠的主动区的该部分的掺质浓度高于主动区的该另一部分的掺质浓度，使得反熔丝结构具有更好的导电性能。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114078813 A (43)申请公布日 2022.02.22 (21)申请号 202110935027.X (22)申请日 2021.08.16 (30)优先权数据 16/995,84