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本公开的实施例涉及一种射频装置和所属的制造方法。射频装置包括包封材料和嵌入包封材料中的射频芯片，其中射频芯片具有第一主面和第二主面。射频装置还包括布置在射频芯片的第一主面和包封材料之上的电再分配层以及在再分配层中形成的射频天线，该射频天线被设计为在从第二主面指向第一主面的方向上辐射信号和/或在从第一主面指向第二主面的方向上接收信号。射频装置还包括具有导电壁结构的微波部件，该微波部件布置在射频天线下方并且嵌入包封材料中。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114095053 A
(43)申请公布日 2022.02.25
(21)申请号 202110491460.9 H01L 21/60 (2006.01)
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