适配器、连接装置和供应系统.pdfVIP

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2023-04-26 发布于北京
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适配器、连接装置和供应系统.pdf

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一种用于处理基板、特别是晶圆的湿法处理模块、特别是喷漆模块的供应系统的液体容器(14)的适配器，该适配器包括用于紧固到液体容器(14)的容器零件(62)和用于紧固到供应系统的通道零件(66)，其中，容器零件(62)具有中心开口(68)和用于将容器零件(62)紧固到液体容器(14)的紧固装置。通道零件(66)包括连续的第一通道部分(42)和连续的第二通道部分(44)，第一和第二通道部分(42，44)各自通向容器零件(62)的中心开口(68)。进一步描述了连接装置和供应系统。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114082573 A (43)申请公布日 2022.02.25 (21)申请号 202110865976.5 B05B 9/04 (2006.01) (22)申请日 20