薄膜加热器、薄膜加热器的制造方法及恒温槽型压电振荡器.pdfVIP

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2023-04-26 发布于北京
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薄膜加热器、薄膜加热器的制造方法及恒温槽型压电振荡器.pdf

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本发明提供一种薄膜加热器(10)。该薄膜加热器(10)具有在绝缘基板(11)上的两个端子之间进行图案形成而构成的金属布线(12)。金属布线(12)在两个端子之间的电阻值为10Ω以下，并具有由在200℃以下的温度发生再结晶的材料形成的发热层(12A)。发热层(12A)通过成膜工序和图案形成工序形成，成膜工序中，在将绝缘基板(11)预热至200℃以上的状态下，利用真空蒸镀法进行金属膜的成膜；图案形成工序中，通过对成膜后的金属膜进行蚀刻而进行图案形成。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114080859 A (43)申请公布日 2022.02.22 (21)申请号 202180004028.0 (74)专利代理机构北京市金杜律师事务所