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一种静电卡盘加热器,其具备:静电卡盘,其在陶瓷烧结体中埋设有静电电极;冷却部件,其对静电卡盘进行冷却;以及加热器层,其设置于静电卡盘与冷却部件之间,多段地埋设有包含电阻发热体层的多个金属层。加热器层在金属层彼此之间具有厚度为2μm以上且50μm以下的陶瓷绝缘层。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114080670 A
(43)申请公布日 2022.02.22
(21)申请号 202080047681.0 (74)专利代理机构 北京银龙知识产权代理有限
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