激光修复方法、激光修复装置.pdfVIP

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2023-04-26 发布于北京
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激光修复方法、激光修复装置.pdf

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本发明提供一种激光修复方法、激光修复装置。即使存在基底层不同或膜厚偏差的情况下，也能够进行高质量的修复。激光修复方法对多层膜基板的缺陷部设定激光照射范围，在所设定的激光加工条件下对所述缺陷部照射激光束来进行修复加工时，确定激光束照射位置的周边区域，按每个共同的反射光信息将所确定的周边区域划分成多个区分区域，根据位于激光束照射位置周围的区分区域的配置图案，类推激光束照射位置的层结构，根据所类推的层结构，设定照射的激光束的激光加工条件。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114096368 A (43)申请公布日 2022.02.25 (21)申请号 202080050119.3 (74)专利代理机构北京品源专利代理有限公司