一种超硬TiC涂层及其制备方法.pdfVIP

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2023-04-26 发布于北京
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一种超硬TiC涂层及其制备方法.pdf

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本发明公开一种超硬TiC涂层及其制备方法。所述方法包括：步骤A、在第一偏压下对基底进行清洗；步骤B、在惰性气体气氛下对金属靶进行磁控溅射放电，采用第二偏压在所述基底表面沉积金属过渡层；步骤C、逐渐通入含C气体，对金属Ti靶和含C气体进行磁控溅射放电，采用第三偏压在所述金属过渡层表面沉积TiC涂层前驱体；步骤D、对所述TiC涂层前驱体进行退火处理，制备得到超硬TiC涂层。本发明中，高能粒子调控和离子轰击作用下，实现了具有纳米晶和非晶混合相结构的TiC涂层前驱体沉积，并通过退火处理，诱导产生了高密度

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114086115 A (43)申请公布日 2022.02.25 (21)申请号 202111253591.X (22)申请日 2021.10.27 (71)申请人北京