一种激光诱导击穿光谱仪的检测环境气压控制结构.pdfVIP

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2023-04-26 发布于北京
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一种激光诱导击穿光谱仪的检测环境气压控制结构.pdf

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本发明公开了一种激光诱导击穿光谱仪的检测环境气压控制结构，涉及激光诱导击穿光谱仪技术领域。本发明包括一种激光诱导击穿光谱仪的检测环境气压控制结构，包括底板，底板的上侧装设有分子泵，分子泵的一侧装设有第一管道，第一管道的一端装设有控制阀，控制阀包括基板，基板的上侧固定有固定板。本发明通过第一电动推杆的作用方便将封堵锥卡置到第一开孔的内部，方便对激光诱导击穿光谱仪进行密封，通过两缓冲器的作用方便对第二滑槽进行缓冲，进而方便在抽真空的过程中对圆形固定板一侧的封堵锥进行缓冲。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114076754 A (43)申请公布日 2022.02.22 (21)申请号 202111330708.X (22)申请日 2021.11.11 (71)申请人谭姣姣地址 418