OPC建模量测图形数据选择方法.pdfVIP

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2023-04-26 发布于北京
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OPC建模量测图形数据选择方法.pdf

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本申请涉及半导体集成电路制造技术领域，具体涉及一种OPC建模量测图形数据选择方法。方法包括：提供对应半导体器件特定层的掩模版数据文件和OPC初始模型；从掩模版数据文件中，选取实际特征尺寸属于第一特征尺寸范围的掩模图形作为测试图形，所有测试图形形成测试图形集；第一特征尺寸包括半导体特定器件层的最小设计特征尺寸；使用测试图形集优化OPC初始模型，生成第一OPC模型；基于第一OPC模型，对测试图形集中的每个测试图形进行模拟，确定测试图形集中的有效测试图形集；删除掩模版数据文件中，实际特征尺寸小于最小有

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114077157 A (43)申请公布日 2022.02.22 (21)申请号 202111426254.6 (22)申请日 2021.11.26 (71)申请人上海华力集成电路制造有限公司