一种拼接主镜共相误差检测方法、系统及储存介质.pdfVIP

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2023-04-26 发布于北京
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一种拼接主镜共相误差检测方法、系统及储存介质.pdf

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本发明涉及一种拼接主镜共相误差检测方法、系统及储存介质。克服现有检测方法在使用过程中存在的局限性。方法包括：首先，在待检测反射式拼接主镜型望远镜系统的焦点之后及的位置放置待测样品与面阵探测器，入射的平行光束经过待检测反射式拼接主镜型望远镜系统后形成会聚光束，入射至待测样品表面；然后，控制待测样品进行扫描移动，并由面阵探测器采集待测样品在不同扫描位置的衍射光斑；然后，利用叠层衍射成像技术同时计算出待测样品的复振幅透过率及其表面的照明光场分布；最后，进行光场逆传输计算得出拼接主镜光瞳面的相位分布，获

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 114076670 B (45)授权公告日 2022.07.08 (21)申请号 202210061624.9 CN 111551351 A,2020.08.18 (22)申请日 202