一种超薄金属箔的制备方法.pdfVIP

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2023-04-26 发布于北京
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一种超薄金属箔的制备方法.pdf

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本发明属于金属材料领域，尤其涉及一种超薄铜箔的制备方法。所述方法包括：1）设置可动的载体，载体至少一面为负载面，且载体活动区域至少设置一个负载区；2）所述载体运动至负载区前的载体活动区域为上游区，所述载体在上游区中时，在载体的负载面覆盖过渡材料，形成过渡层；3）所述载体在负载区内运动时在过渡层表面进行金属铜的气相沉积，形成铜箔；4）所述载体运动离开负载区后的载体活动区域为下游区，所述过渡层在下游区内去除，实现铜箔和载体的分离；5）收集分离后的铜箔。本发明对于超薄铜箔的制备效率和良品率具有显著的提

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114086120 A (43)申请公布日 2022.02.25 (21)申请号 202111335008.X (22)申请日 2021.11.11 (71)申请人杭州四马化工科技有限公司