单晶炉热场加热器及单晶炉.pdfVIP

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2023-04-26 发布于北京
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单晶炉热场加热器及单晶炉.pdf

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本公开实施例提供了一种单晶炉热场加热器及单晶炉，所述单晶炉热场加热器，包括：加热器主体，所述加热器主体为环绕单晶炉热场内的坩埚设置的筒状结构，包括顶部开口端、底部开口端、及位于所述顶部开口端与所述底部开口端之间的外周侧面；及，绝缘保护罩，所述绝缘保护罩为筒状罩体，罩设于所述加热器主体外，且至少覆盖住所述筒状结构的顶部开口端、所述筒状结构的底部开口端和所述筒状结构的外周侧面。本公开实施例的单晶炉热场加热器及单晶炉，能够阻止氩气流对加热器的侵蚀及SiO2的沉积，提高加热器的使用寿命，同时减少加热器的

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114075692 A (43)申请公布日 2022.02.22 (21)申请号 202010838279.6 (22)申请日 2020.08.19 (71)申请人西安奕斯伟材料科技有限公司