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本发明提供一种质谱系统及其测量方法，质谱系统包括依序连接的离子源子系统、离子加速子器子系统、高能分析器子系统和粒子鉴别与探测器子系统；其中所述离子源子系统包括进样器部件、与所述进样器部件连接的超强电离离子源部件；所述高能分析器子系统包括与所述离子加速子器子系统连接的分析器部件和以及与分析器部件连接的束流测量部件；所述探测器子系统包括与所述束流测量部件连接的薄膜以及与所述薄膜连接的探测器。本发明采用超强电离技术排除了分子离子的干扰；采用粒子鉴别技术能够探测到原子序数Z的大小，从而得到同量异位素离子
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114088798 A
(43)申请公布日 2022.02.25
(21)申请号 202111345454.9
(22)申请日 2021.11.15
(71)申请人 启先核（北京）科技有限公司
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