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根据本发明的一实施例的制造显示装置的设备包括：腔室；沉积头，其布置于腔室内部，并且喷射沉积物质；掩模，其布置于沉积头下方；静电吸盘，其布置于掩模下方；以及温度调节模块，其至少一部分布置于静电吸盘下方。温度调节模块包括：温度调节管路，其布置于静电吸盘内部；以及温度调节基底部，其布置于静电吸盘下方，并且其内部布置有电永磁吸盘。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114079028 A
(43)申请公布日 2022.02.22
(21)申请号 202110359497.6
(22)申请日 2021.04.02
(30)优先权数据
10-2020-0
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