用于在样品处理期间进行成像的双束显微镜系统.pdfVIP

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2023-04-26 发布于北京
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用于在样品处理期间进行成像的双束显微镜系统.pdf

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用于在样品处理期间进行成像的双束显微镜系统。根据本公开，用于使用双束显微镜系统来同时处理样品并对所述样品的处理部分进行成像的方法包含以下初始步骤：朝着所述样品发射多个电子；将所述多个电子分离成两个电子束；以及随后修改所述电子束中的至少一个的聚焦特性，使得所述两个电子束具有不同的焦平面。一旦所述两个电子束具有不同的焦平面，就聚焦所述第一电子束，使得所述第一电子束充当STEM束。然后，使用所述STEM束来处理所述样品的区域以引起物理变化（例如，执行研磨、沉积、电荷调节、相变等）。聚焦所述第二电子束以

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114088741 A (43)申请公布日 2022.02.25 (21)申请号 202110657931.9 G01N 23/20058 (2018.01)