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2023-04-26 发布于北京
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激光加工装置.pdf

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本发明提供一种激光加工装置，其能够缩短调整激光的输出所需的时间。在激光加工装置(1)中，控制部(50)执行：第1调整处理，通过以从空间光调制器(7)出射并入射到聚光透镜(33)的激光(L)的入射量变化的方式使调制图案显示于空间光调制器(7)，而调整从聚光透镜(33)出射的激光(L)的输出即加工输出；和第2调整处理，以加工输出与第1调整处理中的调整量合起来成为激光加工时的目标值的方式，使λ/2波长板(61)驱动而调整激光(L)的输出。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114074218 A (43)申请公布日 2022.02.22 (21)申请号 202110953923.9 (22)申请日 2021.08.19 (30)优先权数据 2020-1394