显影液热交换系统.pdfVIP

下载本文档

0
0
约9.39千字
约 10页
2023-04-26 发布于北京
举报
版权申诉

显影液热交换系统.pdf

1、本文档共10页，其中可免费阅读9页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明公开了显影液热交换系统，包括底座和热循环显影液喷嘴，所述底座的顶部通过支架固定安装有恒温水槽、热浸泡罐和晶圆吸盘，所述热浸泡罐的底部通过安装座安装有显影液第一输入管和显影液第二输入管。通过热浸泡罐的设置，能够通过保温水对显影液进行加热，然后通过保暖套管的设置，能够在循环水热交换块与热循环显影液喷嘴之间对显影液进行保温，通过热交换机构的设置，能够使恒温水槽提供的保暖用水循环进行使用，并且能够对多路显影液进行保温和加热，实现了显影液温度的恒定而且不会使得回水对保温水造成影响，在显影工艺时同时使

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114077169 A (43)申请公布日 2022.02.22 (21)申请号 202111364677.X (22)申请日 2021.11.17 (71)申请人沈阳芯达半导体设备有限公司