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本发明涉及芯片封装技术领域,具体涉及一种微波与毫米波芯片的气密封装结构及封装方法,包括载板,载板上设置有气密基板,气密基板的上表面设置有芯片组件;气密基板上围绕芯片组件设置围框,围框上设置有气密盖板并形成气密腔;气密基板上设置有天线辐射件和信号互联件,气密腔内的气密基板上设置有键合端,天线辐射件和信号互联件穿过气密基板并与键合端连接,芯片组件分别通过键合端与天线辐射件和信号互联件通信连接。本发明使芯片组件通过键合端与天线辐射件和信号互联端进行连接,而气密腔外无需设置连接器或转接器,大大减小了链路
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114093823 A
(43)申请公布日 2022.02.25
(21)申请号 202111304602.2
(22)申请日 2021.11.05
(71)申请人 成都雷电微力科技股份有限公司
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