通过监控掩膜版补偿制程偏移量的方法和装置.pdfVIP

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2023-04-26 发布于北京
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通过监控掩膜版补偿制程偏移量的方法和装置.pdf

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本发明提供了通过监控掩膜版补偿制程偏移量的方法和装置，包括：检测光罩的当前对位标记；判断当前对位标记与镜头视野中央是否重合；如果不重合，则根据当前对位标记计算差异值；将差异值补偿到切换后的产品的当前玻璃片中，并检测当前玻璃片的偏移量；将当前玻璃片的偏移量补偿到下一玻璃片中，并检测补偿结果；通过计算的差异值提前对切换后的产品进行补偿，可以有效避免由于偏移量超出规格而进行的重复补偿，减少首件片的重新加工，有效提升产能。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114089606 A (43)申请公布日 2022.02.25 (21)申请号 202111405184.6 (22)申请日 2021.11.24 (71)申请人深圳市尊绅投资有限公司