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本发明涉及光刻技术领域,公开了用于硬掩模组合物的单体、组合物及其应用和形成图案的方法,该单体具有式(I)所示的结构:式(I):R‑C(OX)‑L‑C(OX)‑R。本发明提供的新的硬掩模组合物在用于硬掩模层时具有优异的耐蚀刻性,同时还确保了对溶剂的可溶性间隙填充特征和平坦化特征。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114085131 A
(43)申请公布日 2022.02.25
(21)申请号 202010854194.7 G03F 7/027 (2006.01)
(22)申请日 2
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