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2023-04-26 发布于北京
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基板固定装置.pdf

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本揭示提供一种基板固定装置，用以固定并吸附大尺寸方形基板。基板固定装置包含夹盘机构及旋转机构。夹盘机构具有第一表面及与第一表面相对设置的第二表面。夹盘机构包含设置于第一表面上的复数真空吸盘、复数夹持机构并定义矩形边缘区域，且复数真空吸盘及复数夹持机构设置于矩形边缘区域内。旋转机构连接于夹盘机构的第二表面以带动夹盘机构进行旋转。大尺寸方形基板的周缘对应设置于夹盘机构的矩形边缘区域内，使复数真空吸盘可吸附于大尺寸方形基板的表面，且复数夹持机构可夹持于大尺寸方形基板的周缘。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114093803 A (43)申请公布日 2022.02.25 (21)申请号 202010859045.X (22)申请日 2020.08.24 (71)申请人弘塑科技股份有限公司