驱动背板及其制作方法、显示装置.pdfVIP

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2023-04-26 发布于北京
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公开一种驱动背板及其制作方法、显示装置，驱动背板的制作方法包括：在基底上形成第一导电图形，所述第一导电图形包括多条信号线；形成具有多个过孔的绝缘层；形成第二导电图形，第二导电图形包括多对连接电极；依次形成无机材料层和有机材料层；对有机材料层进行阶梯曝光并显影，以形成中间图形；中间图形包括镂空部、保留部和半保留部；保留部的厚度大于半保留部的厚度，半保留部的厚度为无机材料层厚度的x倍；对无机材料层和中间图形进行刻蚀，直至无机材料层对应于镂空部所在区域的部分被去除；无机材料层与中间图形的刻蚀选择比为1

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114093241 A (43)申请公布日 2022.02.25 (21)申请号 202010867200.2 H01L 27/15 (2006.01) (22)申请日 2