宽带紫外线照明源.pdfVIP

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2023-04-26 发布于北京
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宽带紫外线照明源.pdf

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本发明公开一种用于特征化系统的宽带紫外线照明源。所述宽带紫外线照明源包含：外壳，其具有一或多个壁，所述外壳经配置以容纳气体；及等离子体放电装置，其基于石墨烯‑电介质‑半导体(GOS)平面型结构。所述GOS结构包含具有顶表面的硅衬底、安置在所述硅衬底的所述顶表面上的电介质层及安置在所述电介质层的顶表面上的至少一层石墨烯。金属接点可形成在所述石墨烯层的所述顶表面上。所述GOS结构具有用于照明源中的若干优点，例如低操作电压(低于50V)、平面表面电子发射及与标准半导体工艺的兼容性。所述宽带紫外线照明源

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114097061 A (43)申请公布日 2022.02.25 (21)申请号 202080040629.2 约翰 ·费尔登　 (22)申请日 2020.06