一种电缆线系SOI压阻压力传感器.pdfVIP

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2023-04-27 发布于北京
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一种电缆线系SOI压阻压力传感器.pdf

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本发明涉及一种电缆线系SOI压阻压力传感器，衬底硅（10）微腔中设有感压膜片（4），衬底硅背面制有围堰（1），感压膜片区域制有敏感桥阻和互连线（2），感压膜片区域内制有互连线（6）与对应的敏感桥阻连接，围堰上的背封玻璃（50）中设有微凹腔（51）构成压力参考腔，衬底硅正面连接封接玻璃（60）及测量接口（61），金属接嘴（62）与封接玻璃连为一体,金属空心插管（54）与金属焊盘（3）形成电连接，金属空心插管中嵌压焊接电缆线（55）。本发明具有如下优点：传感器线性压阻灵敏度正/反向对称一致性,无管座

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114136511 A (43)申请公布日 2022.03.04 (21)申请号 202111479804.0 (22)申请日 2021.12.07 (71)申请人华东光电集成器件研究所