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本申请实施例公开了一种蒸镀装置及蒸镀方法,在蒸镀装置中,腔挡板包括开关组,开关组至少包括第一开关和第二开关,第一开关包括第一开口,第二开关包括第二开口,第一开关和第二开关可分别在打开与关闭状态之间切换,第一开关与第一坩埚对应设置,第二开关与第二坩埚对应设置,通过控制腔挡板上的第一开关和第二开关的打开和关闭,可以便利的在一个基板上的不同部位分别形成对应坩埚的蒸镀膜层,就可以通过一个基板实现了蒸镀装置中多个坩埚的蒸镀膜层校准,相比于现有技术,可以减小校准使用的基板的数量,同时减小了校准时间,提升了产
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114150273 A
(43)申请公布日 2022.03.08
(21)申请号 202111516097.8
(22)申请日 2021.12.06
(71)申请人 深圳市华星光电半导体显示技术有
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