一种谐振芯片及其制作方法.pdfVIP

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2023-04-27 发布于北京
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一种谐振芯片及其制作方法.pdf

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本申请提供了一种谐振芯片及其制作方法，涉及半导体领域。该谐振芯片包括衬底；位于衬底一侧的导电层；位于导电层一侧的附着层；位于附着层一侧的介电层，其中，介电层上设置有谐振狭缝，谐振狭缝贯通介电层。本申请通过设置谐振狭缝，在进行生物分子荧光测试时，在谐振狭缝中可以实现更高能量的光场局域，大大地提高了狭缝内生物分子的荧光增强效果，从而有效地提高荧光测序的准确率以及荧光信号的信噪比。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114156625 A (43)申请公布日 2022.03.08 (21)申请号 202111478357.7 (22)申请日 2021.12.06 (71)申请人南方科技大学地址