提供气体切换的气体供应系统及气体切换的方法.pdfVIP

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2023-04-27 发布于北京
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提供气体切换的气体供应系统及气体切换的方法.pdf

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本发明揭露一种提供气体切换的气体供应系统，包含：一第一气体源；一第一主管，具有一上游端及一下游端，所述第一主管的上游端连接所述第一气体源；一第一旁路管，旁路于所述第一主管的上游端和下游端之间；及一汇流管，具有一上游端及一下游端，所述汇流管的上游端连接所述第一主管的下游端，所述汇流管的下游端连接所述反应腔体。所述第一主管、所述第一旁路管及所述汇流管藉由一切换手段，使第一气体选择性经由所述第一主管和所述汇流管下游输送至所述反应腔体，或者经由所述第一主管和所述第一旁路管所形成的封闭回路中循环输送。此外

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114151730 A (43)申请公布日 2022.03.08 (21)申请号 202111523467.0 (22)申请日 2021.12.13 (71)申请人拓荆科技股份有限公司