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本发明涉及一种传感器芯片及其制备方法、检测报警系统。传感器芯片包括:衬底以及设置于衬底同侧的至少一个压力传感部和至少一个气体传感部。压力传感部包括:压敏层以及与压敏层分别连接的第一电极和第二电极。气体传感部包括:气敏层以及与气敏层分别连接的第三电极和第四电极。其中,第一电极、第二电极、第三电极和第四电极同层设置且彼此绝缘;压敏层位于第一电极靠近衬底的一侧,气敏层位于第三电极背离衬底的一侧,且气敏层在衬底上的正投影与压敏层在衬底上的正投影之间具有间隔。上述传感器芯片同时具备压力传感和多种气体传感的
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114137031 A
(43)申请公布日 2022.03.04
(21)申请号 202111447565.0
(22)申请日 2021.11.30
(71)申请人 南京英锐创电子科技有限公司
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