切削刀具涂层及其制备方法.pdfVIP

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2023-04-27 发布于北京
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切削刀具涂层及其制备方法.pdf

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本发明公开了一种切削刀具涂层及其制备方法，切削刀具涂层为由内至外依次镀制在切削刀具表面的Cr层、AlTiCrSiN层和CrSiN层组成的多元多层涂层。切削刀具涂层的制备方法采用阴极电弧蒸发源技术进行镀膜，并通过脉冲及直流磁场控制技术进行辅助；首先在Ar气氛下蒸发Cr靶材在切削刀具表面形成Cr过渡层薄膜，然后在N2气氛下蒸发AlTiCrSi靶材形成AlTiCrSiN多元氮化物膜，最后在N2气氛下蒸发CrSi靶材形成CrSiN薄膜。本发明各层镀膜之间具有相似的结构特征，各结构基元的周期性和规律性相似

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114150269 A (43)申请公布日 2022.03.08 (21)申请号 202111483921.4 C23C 14/54 (2006.01) (22)申请日 2