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2023-04-27 发布于北京
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磨削方法.pdf

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本发明提供磨削方法，是能够赋予磨削后的被加工物高刚性的新的磨削方法。该磨削方法利用安装于主轴的磨削磨具对在正面上具有器件区域和围绕器件区域的外周剩余区域的板状的被加工物的与正面的相反的一侧的背面进行磨削，其中，将具有比器件区域大的正面的支承部件的正面固定在被加工物的背面上，将保护部件粘贴在被加工物的正面上，利用卡盘工作台对粘贴在固定有支承部件的被加工物上的保护部件进行保持，从支承部件的与正面相反的一侧的背面对支承部件的与器件区域对应的区域进行磨削而形成环状的加强部件，进而从被加工物的背面对被加工

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114147545 A (43)申请公布日 2022.03.08 (21)申请号 202111025660.1 (22)申请日 2021.09.02 (30)优先权数据 2020-1498