一种用于制备LDI干膜的碱溶性聚合物及其制备方法.pdfVIP

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2023-04-27 发布于北京
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一种用于制备LDI干膜的碱溶性聚合物及其制备方法.pdf

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本发明涉及一种用于制备LDI干膜的碱溶性聚合物及其制备方法。根据本发明的碱溶性聚合物侧链具有氧杂环丁烷基团；且含氧杂环丁烷基团的聚合单元在碱溶性聚合物中占以质量百分比计的1~65%。本发明采用了自由基聚合法制备得到了本发明的碱溶性聚合物。将本发明的碱溶性聚合物用于制备LDI干膜，通过激光对采用碱溶性聚合物和阳离子引发剂配合制备得到的LDI干膜进行直接曝光，LDI干膜相对于现有技术的LDI干膜具有良好的感光度、解析度、密合性、盖孔率以及抗蚀剂形状。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114149530 A (43)申请公布日 2022.03.08 (21)申请号 202111117656.8 C08F 212/08 (2006.01)