基于双透镜阵列的凝视型多光谱图像传感器及其制作方法.pdfVIP

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2023-04-27 发布于北京
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基于双透镜阵列的凝视型多光谱图像传感器及其制作方法.pdf

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本发明涉及一种基于双透镜阵列的凝视型多光谱图像传感器及其制作方法，包括：在背照式图像传感器的表面制作多光谱滤光器阵列；在光学玻璃片的下表面制作下微透镜阵列，在背照式图像传感器上旋涂光敏型键合胶，并进行图形化处理形成与下微透镜阵列相对应的图案；将光学玻璃片和背照式图像传感器键合在一起；在光学玻璃片的上表面制作上微透镜阵列；制作金属电极。本发明中，图像传感器的进光方式采用了背照式，具有灵敏度高、膜系可设计性高、工艺可控性高的特点。滤光器基于F‑P标准具原理，结构简单，相对于传统的多光谱成像系统，省去

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114156295 A (43)申请公布日 2022.03.08 (21)申请号 202111488185.1 (22)申请日 2021.12.08 (71)申请人中国电子科技集团公司第四十四研