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本发明公开了一种发光二极管的制备方法,包括如下步骤:提供GaN衬底;通过掩膜法结合微区域元素扩散掺杂技术,在GaN衬底内掺杂元素以形成沿着依次连接的p‑GaN层、量子肼层和n‑GaN层;在GaN衬底上形成间隔设置的第一导电层和第二导电层,第一导电层与p‑GaN层电连接,第二导电层与n‑GaN层电连接;在第一导电层上设置第一电极,在第二导电层上设置第二电极。这种发光二极管的制备方法在GaN衬底内掺杂元素以形成沿着GaN衬底的平面方向依次连接的p‑GaN层、量子肼层和n‑GaN层。这种发光二极管的制
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114156373 A
(43)申请公布日 2022.03.08
(21)申请号 202111398381.X
(22)申请日 2021.11.19
(71)申请人 深圳市光科全息技术有限公司
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