一种改善有机基体上金属化薄膜形核均匀性的方法.pdfVIP

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2023-04-27 发布于北京
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一种改善有机基体上金属化薄膜形核均匀性的方法.pdf

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本发明涉及表面处理技术领域，具体涉及一种提高有机基体上金属化薄膜形核均匀性的方法，包括步骤如下：(1)选用厚度和粗糙度合适的聚合物作为基材；(2)对基膜依次采用无水乙醇和去离子水超声波清洗，时间均为1～3min，吹干备用；(3)对基膜进行等离子体预处理，使用空气作为反应气体，气压为10～20Pa，离子源功率为20～45W，处理时间为1～15min；(4)在预处理后的基膜上继续沉积金属膜。该方法可显著提升沉积粒子的形核密度，有利于形成均匀致密的金属化薄膜。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114150263 A (43)申请公布日 2022.03.08 (21)申请号 202111491280.7 (22)申请日 2021.12.08 (71)申请人安徽工业大学地址