一种集成LC滤波器及其制造方法.pdfVIP

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2023-04-27 发布于北京
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一种集成LC滤波器及其制造方法.pdf

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一种集成LC滤波器，包括衬底、第一导电层、第一介质层和第二导电层；所述衬底的第一表面开设有至少一个第一凹槽，所述第一导电层、第一介质层、第二导电层依次设置于已形成所述至少一个第一凹槽的所述衬底的第一表面；所述第一导电层、所述第一介质层和所述第二导电层形成的叠层结构为所述集成LC滤波器提供电容；所述至少一个第一凹槽包括一个连续线条形第一凹槽，所述连续线条形第一凹槽内设置的所述第二导电层形成与所述连续线条形第一凹槽匹配的导电绕组，所述导电绕组为所述集成LC滤波器提供电感。本发明通过在衬底表面设置凹槽

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114157257 A (43)申请公布日 2022.03.08 (21)申请号 202111465493.2 (22)申请日 2021.12.03 (71)申请人电子科技大学地址