一种双波长共光路激光干涉测量装置及方法.pdfVIP

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2023-04-27 发布于北京
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一种双波长共光路激光干涉测量装置及方法.pdf

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针对现有迈克尔逊干涉仪、斐索干涉仪等测量装置进行线膨胀与变形测量时因测量臂光束与参考臂光束在空间上错位分布受空气折射率影响误差大，且无法进行双波长共光路激光干涉测量，本发明提出了一种抗空气环境干扰的双波长激光干涉测量装置和测量方法。该测试装置和测试方法通过科学的光路设计，对称布置测量臂光束与参考臂光束，优选光学元器件实现双波长共光路激光干涉测量，从而大幅度降低了空气环境折射率的影响，提高了线膨胀与变形测量的精度。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114152195 A (43)申请公布日 2022.03.08 (21)申请号 202111438277.9 (22)申请日 2021.11.29 (71)申请人中国工程物理研究院计量测试中心