提升熔石英元件损伤阈值的加工方法.pdfVIP

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2023-04-27 发布于北京
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提升熔石英元件损伤阈值的加工方法.pdf

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一种提升熔石英元件损伤阈值的加工方法，对熔石英元件进行清洗后，使用特定气体流量配比和功率的大气等离子体，处理精密抛光后熔石英元件一定时间，不改变熔石英元件的面形，明显提升熔石英元件的损伤阈值。本发明具有成本低、操作简单、高效快速的特点，在不改变熔石英元件原有的高精度光学面形的前提下，同时有效明显提升熔石英元件的损伤阈值。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114149180 A (43)申请公布日 2022.03.08 (21)申请号 202111512053.8 (22)申请日 2021.12.07 (71)申请人中国科学院上海光学精密机械研究