圆轴测量装置、辊轴及应用该辊轴的纳米压印设备.pdfVIP

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2023-04-27 发布于北京
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圆轴测量装置、辊轴及应用该辊轴的纳米压印设备.pdf

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本申请提供一种圆轴测量装置包括：电感测微仪和双频激光干涉仪；所述电感测微仪中交流电桥的第一桥臂上并入可调电感，通过调整所述可调电感和所述交流电桥的衔铁，补偿工作线圈的残余电压，根据经过残余电压补偿的所述工作线圈产生的电信号计算所述圆轴的圆度；所述双频激光干涉仪将正交偏振激光经过分光镜后和偏振分束镜生成第二反射光和第二投射光，分别经过参考镜片和测量镜片沿原路返回，并经过第二偏振片发生干涉，生成测量信号，根据所述参考信号和测量信号计算所述圆轴的直线度。通过精确的发现圆轴误差，为生产高精度圆轴提供参数

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114152186 A (43)申请公布日 2022.03.08 (21)申请号 202111376366.5 (22)申请日 2021.11.19 (71)申请人天津市英贝特航天科技有限公司