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本申请涉及一种陶瓷加热盘、制备方法和模具及化学气相沉积设备。常温下将陶瓷原料粉进行预压，并将射频电极及加热部件和陶瓷原料粉预成型，然后与烧制好的陶瓷管进行热压一次成型陶瓷加热盘，一次的高温烧制避免重复多次的高温过程容易引起加热盘体内部电阻的变化，以及由于二次烧结导致陶瓷晶粒二次长大使得陶瓷性能发生改变，陶瓷基体机械性能和物理性能变差，进而提高了陶瓷加热盘的热均匀性和使用寿命。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114150295 A
(43)申请公布日 2022.03.08
(21)申请号 202111050640.X B28B 7/00 (2006.01)
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