加热片、陶瓷加热盘及其制备方法和化学气相沉积设备.pdfVIP

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2023-04-27 发布于北京
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加热片、陶瓷加热盘及其制备方法和化学气相沉积设备.pdf

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本申请涉及一种加热片、陶瓷加热盘及其制备方法和化学气相沉积设备。加热片分为内加热片和外加热片，且上下两层排布，所述陶瓷加热盘分为高温高均匀性两区，所述加热片包括内加热片和外加热片，所述内加热片和所述外加热片分别独立连接外部电源，所述内加热片包括内加热线圈，所述外加热片包括外加热线圈，通过调节所述内加热线圈和所述外加热线圈的电流比来减小所述内加热片和所述外加热片的温差，保证加热盘外圆区域不会因为散热而引起与中间部分的热量差异而造成加热盘的热量不均匀现象。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114158150 A (43)申请公布日 2022.03.08 (21)申请号 202111051735.3 (22)申请日 2021.09.08 (66)本国优先权数据 2020109