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本发明公开一种金属材料不同深度氢及其同位素含量检测装置及方法，该检测装置包括真空腔体，真空腔体内设置有样品台，样品台可以与真空腔体外部连接，样品台包含液氮传输管道以及加热装置，样品台用于固定样品，并且可以通过样品台上的加热冷却部件通过PID程序控制对样品进行精确的温度控制，此外样品台还可以通过固定在多维度的操控平台上，实现样品位置的多维调节；真空腔体侧壁上设置有与样品呈角度的氩离子枪和检测装置，氩离子枪和检测装置能够以样品所在平面进行镜面反射。该装置主要用于测量金属中氢气及其同位素渗透实验后不同
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114152660 A
(43)申请公布日 2022.03.08
(21)申请号 202111491911.5
(22)申请日 2021.12.08
(71)申请人 中国工程物理研究院材料研究所
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