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本发明提供一种低激光损伤的背接触异质结太阳能电池制造方法,它包括步骤A,在半导体基板的第一主面的一部分设置表面覆盖绝缘膜层的第一导电型膜层,以形成第一导电型的第一导电区;所述步骤A的具体方法为,a1,在半导体基板的第一主面依次形成第一导电型膜层、第一绝缘层和激光吸收牺牲层;a2,采用激光蚀刻方式去除第一导电区以外区域的激光吸收牺牲层;a3,采用化学蚀刻方式去除未覆盖激光吸收牺牲层的第一绝缘层和第一导电型膜层,以形成表面附着有绝缘膜层的第一导电区。本发明的目的在于提供一种低激光损伤的背接触异质结太
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114203833 A
(43)申请公布日 2022.03.18
(21)申请号 202111446131.9
(22)申请日 2021.11.30
(71)申请人 福建
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