一种高折射率对比DBR的倒装VCSEL结构及其工艺方法.pdfVIP

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2023-04-28 发布于北京
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一种高折射率对比DBR的倒装VCSEL结构及其工艺方法.pdf

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本发明涉及一种高折射率对比DBR的倒装VCSEL结构及其工艺方法，以欧姆金属取代了部分Al2O3，散热衬底、AlGaAs/欧姆金属所形成的高导热、低电阻导通路径，使得光学路径和电学路径分离。Al2O3/AlyGa1‑yAsDBR形成的堆叠结构可以减少DBR层对数，改变了以最高Al组分作为电流孔径限制层的做法，使得电学性能和光学性能得到显著提高，提高了转换效率及总输出功率。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114188816 A (43)申请公布日 2022.03.15 (21)申请号 202111357669.2 (22)申请日 2021.11.16 (71)申请人深圳市德明利光电有限公司