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本发明公开了一种铁电器件的制造方法,在硅片上沉积下电极;在所述下电极上沉积功能层,其中,所述功能层的材料为铪基铁电材料;在所述功能层上沉积上电极;以及通过氨气等离子处理形成缓冲层,所述缓冲层设置在所述下电极和所述上电极之间。本发明公开的一种铁电器件的制造方法,能够有效降低功能层的氧空位含量,进而钝化铁电器件的氧空位,使铁电器件的抗疲劳能力性能更高。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114203905 A
(43)申请公布日 2022.03.18
(21)申请号 202111503255.6
(22)申请日 2021.12.09
(71)申请人 北京超弦存储器研究院
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