一种用于高精度电容阵列的电容单元.pdfVIP

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2023-04-28 发布于四川
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一种用于高精度电容阵列的电容单元.pdf

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本发明公开了一种用于高精度电容阵列的电容单元，包括：第x层金属，有效电容单位构成为：中间的十字形金属和外围方形金属，以十字形金属为x轴y轴构成的4个象限设有不同方向的梳状金属，该梳状金属将十字形以及方形金属连接，将x层金属都作为电容下极板的一部分，外围方形开设向上的通孔；在x层冗余电容部分与有效电容部分相同。第x+1层金属至第x+2*n层金属，有效电容单元的基本构成为：外围方形金属作为下极板，中间的十字形金属作为上极板，4个象限的梳状结构或以插指形状交错形成电容或全部连接到外围的方形下极板作为屏

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114203442 A (43)申请公布日 2022.03.18 (21)申请号 202111465064.5 (22)申请日 2021.12.03 (71)申请人灿芯半导体（上海）股份有限公司